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型號
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VMA322
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VMA432
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行程(mm)
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300×200×200
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400×300×200
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外部尺寸(mm)
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630×540×880
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770×640×880
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重量(kg)
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100
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120
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承重(kg)
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25
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25
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測量精度*
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E2(X/Y)=(3.0+L/200)μm
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E2(X/Y)=(3.5+L/200)μm
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光柵尺
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0.5µm分辨率
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CCD
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1/2"CCD 黑白/彩色
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光源
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輪廓光
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LED冷光源,256級亮度可調
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表面光
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可程控6環8區LED冷光源,256級亮度可調
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放大倍率**
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29~163或58~326
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軟件
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Vispec測量軟件
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工作距離
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92mm (配2倍物鏡時為36mm)
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保修期
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1年
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工作環境
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溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80%
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振動<0.002g,低于15Hz
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電源
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220V/50Hz/10A
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L表示測量長度,以毫米為單位。
放大倍率為近似值,具體值與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關。
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