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型號
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VMG662
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VMG962
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VMG1292
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VMG15122
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行程(mm)
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620×620×200
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920×620×200
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1220×920×200
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1520×1220×200
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外部尺寸(mm)
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1320×1040×1620
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1620×1040×1620
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2000×1400×1620
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2440×1760×1680
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重量(kg)
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1100
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1400
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2350
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3000
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承重(kg)
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80
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80
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60
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60
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測量精度
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XY軸*
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E2=(3.0+L/200)µm
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E2=(4.5+L/200)µm
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Z軸**
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E1=(5.0+L/200)µm
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速度
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XY軸
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300mm/S
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Z軸
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100mm/S
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光柵尺
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Renishaw光柵尺
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CCD
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1/2"CCD 黑白/彩色
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光源
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輪廓光
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LED冷光源,256級亮度可調
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表面光
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6環8區LED冷光源,各段獨立操控,256級亮度可調
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同軸光
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LED冷光源,256級亮度可調
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光學系統***
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6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326
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軟件
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Vispec測量軟件
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運動控制
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自主專利的CNC直流伺服系統
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保修期
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1年
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工作環境
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溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80%
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振動<0.002g,低于15Hz
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電源
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220V/50Hz/10A
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L表示測量長度,以毫米為單位。
Z軸的機械精度,聚焦的精度與工件表面有很大關系。
放大倍率為近似值,具體值與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關。
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