|
t
|
單位
|
KGPS-100
|
KGPS -160
|
KGPS -200
|
KGPS -250
|
坩堝有效容積
(直徑×高) |
mm
|
Φ200×300
|
Φ450×700
|
Φ550×700
|
Φ650×750
|
中頻電源功率
|
Kw
|
100
|
160
|
200
|
250
|
中頻電源頻率
|
Hz
|
2500
|
2500
|
2500
|
2500
|
最高工作溫度
|
℃
|
2200
|
2200
|
2200
|
2200
|
極限真空度
|
Pa
|
1.2×10-31
|
1.2×10-1
|
1.2×10-1
|
1.2×10-1
|
壓升率
|
Pa/h
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
恒溫區溫差
|
℃
|
±10
|
±10
|
±10
|
±10
|