一、用途: |
MM-158 作為高級金相顯微鏡具有其超強性能,主要針對半導體制造業,電子產業,冶金及科研行業而開發的。本儀器采用了透射和反射兩種照明方式,在反射照明下可實現明暗場觀察及DIC微分干涉觀察,偏光觀察。在透射光下作明場觀察。采用了UIS高分辨率,長工作距離無限遠光路校正成像技術。光源采用非球面Kohler照明,為深色物體觀察提供了亮度保證。25mm超大的視野目鏡提供了更清晰的圖像質量。 |
二、技術參數 |
1.目鏡
類別
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放大倍率
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視場直徑(mm)
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平場大視野目鏡
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WF10×
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ф25
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十字刻度目鏡
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WF10×
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ф20
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2. 物鏡:
長距離明暗場物鏡
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數值孔徑NA
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工作距離
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PL5X BD
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0.1
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29.4
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PL10X BD
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0.25
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16
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PL20X BD
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0.40
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10.6
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PL40X BD
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0.6
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5.4
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3. 三目鏡筒:
鉸鏈式,傾斜30°,瞳孔距離50mm-75mm
4. 同軸粗微動調焦機構:
調焦范圍25mm 微動格值2μm,單手指微調裝置
5. 雙層機械機械工作臺:
工作臺尺寸:189mmX160mm,縱向移動: 50mm 橫向移動:80mm
6. 照明光源:
落射照明:12v50w鹵素燈 亮度可調 ,科勒照明,帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片及濾色片
透射照明:12v50w鹵素燈 亮度可調 ,阿貝聚光鏡、內置視場光欄
7. 偏光裝置:
可插入式起偏振鏡及檢偏鏡,檢偏鏡可360度旋轉,起偏鏡和檢偏鏡均可以移出光路。
8. 濾色片:
藍、綠、磨砂
9.轉換器:
四孔帶DIC插孔 |
三、系統組成 |
電腦型金相顯微鏡(MM-158C): 1、金相顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像機(CCD) 4、圖像采集軟件 5、計算機(選配)
數碼型金相顯微鏡(MM-158D): 1、金相顯微鏡 2、數碼適配鏡 3、數碼照相機 |
四、可選附件 |
1.專業定量金相分析軟件 MA3000
2.二維測量軟件 WH300
3.試樣壓平器 YP05
4.高分辨率成像系統
5.明暗場物鏡 50倍 80倍 100倍
6.100瓦落射照明裝置
7.DIC(10X 20X 40X 100X) |