Wyko NT9800是目前功能最強大的光學輪廓儀,可快速地測量臺階高度、表面粗糙度及一系列形貌參數。作為Veeco行業領先的第九代NT系列產品線的最高端產品,NT9800可對0.1nm至10毫米尺寸進行非接觸式三維測量,并具有納米量級的垂直分辨率。
具有定標功能的NT9800能夠協助產前工藝及滿足產品開發的需要,并可作為一個向量產過渡地穩定的,可靠的平臺。
行業領先的Wyko Vision軟件有超過200種的數據分析工具,包括自動序列測量、數據記錄及及時反饋和SPC的合格/不合格標準評判。可選的數據分析包有膜厚分析軟件(針對100nm以上的透明薄膜)。SureVision分析模板可便利地實現自動化,MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶分析算法。
NT9800光學輪廓儀是一款操作簡便、目前最高端的光學輪廓儀。