中文名稱：六甲基二硅氮烷
外文名 Hexamethyldisilazane
分 子 式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
CAS號: 999-97-3
分子式: C6H19NSi2
分子量: 161.39
EINECS號: 213-668-5
性　狀 無色透明液體、略帶胺味
別 名 雙（三甲基硅）胺烷
密度(25℃)g/cm3：0.770—0.780 折光率()：1.408±0.002
六甲基二硅氮烷含量(%)：≥99.0 六甲基二硅氧烷含量(%)：≤0.7
三甲基硅醇含量%：≤ 0.3 閃點：27℃
沸點：126℃ 色度：≤10
用　途：特種有機合成。