|
|||||||||||||||||||||||||
sMIM-掃描近場微波阻抗顯微鏡模塊適配于各類主流品牌的AFM。其不僅能進行納米尺度空間分辨的電導率及介電常數的測量，還能進行載流子濃度以及半導體P/N型的測量。相比于導電原子力顯微鏡，sIMM很好的彌補了其無法測量絕緣體的遺憾。相比于掃描電容顯微鏡，sIMM擁有更高測量頻率從而實現更高電學分辨率。因此，sIMM適合于各類材料包括導體、半導體、絕緣體/電介質、掩埋式結構、晶體管等樣品。
ScanWave讓您的AFM成為專業的電學顯微鏡！
50nm超高分辨率，~100nm內部電學探測，導體、半導體、絕緣體的廣泛適用度，為您提供電導率、介電常數、摻雜濃度納米級
高靈敏度電學表征成像的解決方案。
適配各種AFM平臺的獨立掃描模塊
模塊包括微波信號發生器、探針干涉模塊、
自主專利同軸屏蔽探針、以及微波近場軟件，可
應用于各種AFM平臺。
特殊MEMS結構探針，有效避免散雜磁場的干擾。
專業多功能自由切換電學顯微鏡測試功能體驗
sMIM-C成像：介電常數、電容變化；
sMIM-R成像：電導率、電阻率變化；
dC/dV 振幅：載流子濃度；
dC/dV 相位：載流子類型+/- ；
dR/dV 振幅：相關損失系數；
dR/dV 相位：相關損失系數；
高精度電學測試，50nm分辨率
工業級高靈敏度、低噪音，“Hard stuff”材料電學測試不再是難題
可實現表面下成像、檢測（>100nm)
不同材料同步測量
導體、半導體、絕緣體、電介質都可以實現，不同的材料甚至分類都可以 在一次掃描中觀測
簡易操作
不需要樣品特別處理，不需要將樣品放置在導電或電流中，人性化軟件設計，操作簡單
接觸和非接觸多種掃描模式
即使在做力曲線，只要想實現，就可以同時獲得電學數據。
