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Advanced Materials Analysis Instrument
CMI900/950系列X射線熒光測厚儀能夠測量多種幾何形狀、各種尺寸的樣品;并且測量點最小可達0.025 x 0.051毫米。
CMI900系列采用開槽式樣品室,以方便對大面積線路板樣品的測量。它可提供五種規格的樣品臺供用戶選用,分別為:
CMI950系列采用開閉式樣品室,以方便測定各種形狀、各種規格的樣品。同樣,CMI950可提供四種規格的樣品臺供用戶選用,分別為:
CMI900/950主要技術規格如下:
No. |
主要規格 |
規格描述 |
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1 |
X射線激發系統 |
垂直上照式X射線光學系統 |
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空冷式微聚焦型X射線管,Be窗 |
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標準靶材:Rh靶;任選靶材:W、Mo、Ag等 |
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功率:50W(4-50kV,0-1.0mA)-標準 75W(4-50kV,0-1.5mA)-任選 X射線管功率可編程控制 |
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裝備有安全防射線光閘 |
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2 |
濾光片程控交換系統 |
根據靶材,標準裝備有相應的一次X射線濾光片系統 |
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二次X射線濾光片:3個位置程控交換,Co、Ni、Fe、V等多種材質、多種厚度的二次濾光片任選 |
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位置傳感器保護裝置,防止樣品碰創探測器窗口 |
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3 |
準直器程控交換系統 |
最多可同時裝配6種規格的準直器,程序交換控制 |
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多種規格尺寸準直器任選: -圓形,如4、6、8、12、20 mil等 -矩形,如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 |
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4 |
測量斑點尺寸 |
在12.7mm聚焦距離時,最小測量斑點尺寸為:0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm準直器) |
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在12.7mm聚焦距離時,最大測量斑點尺寸為:0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm準直器) |
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5 |
X射線探測系統 |
封氣正比計數器 |
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裝備有峰漂移自動校正功能的高速信號處理電路 |
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6 |
樣品室 |
CMI900 |
CMI950 |
-樣品室結構 |
開槽式樣品室 |
開閉式樣品室 |
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-最大樣品臺尺寸 |
610mmx 610mm |
300mmx 300mm |
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-XY軸程控移動范圍 |
標準:152.4 x 177.8mm 任選:50.8mmx 152.4mm 50.4mm x 177.8mm 101.6 x 177.8mm 177.8 x 177.8mm 610mm x 610mm |
300mmx 300mm |
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-Z軸程控移動高度 |
43.18mm |
XYZ程控時,152.4mm XY軸手動時,269.2mm |
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-XYZ三軸控制方式 |
多種控制方式任選:XYZ三軸程序控制、XY軸手動控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動控制 |
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-樣品觀察系統 |
高分辨、彩色、實時CCD觀察系統,標準放大倍數為30倍。50倍和100倍觀察系統任選。 |
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激光輔助光自動對焦功能 |
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可變焦距控制功能和固定焦距控制功能 |
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7 |
計算機系統配置 |
IBM計算機:2.8G奔騰IV處理器,256M內存,1.44M軟驅,40G硬盤,CD-ROM,鼠標,鍵盤,15寸液晶,56K調制解調器。惠普或愛普生彩色噴墨打印機。 |
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8 |
分析應用軟件 |
操作系統:Windows2000中文平臺 中文分析軟件包:Smart |
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-測厚范圍 |
可測定厚度范圍:取決于您的具體應用。請告訴牛津儀器您的具體應用,我們將列表可測定的厚度范圍 |
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-基本分析功能 |
無標樣檢量線測厚,可采用一點或多點標準樣品自動進行基本參數方法校正。牛津儀器將根據您的應用提供必要的校正用標準樣品。 |
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樣品種類:鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量) |
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可檢測元素范圍:Ti22 – U92 |
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可同時測定5層/15種元素/共存元素校正 |
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組成分析時,可同時測定15種元素 |
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多達4個樣品的光譜同時顯示和比較 |
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元素光譜定性分析 |
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-調整和校正功能 |
系統自動調整和校正功能:校正X射線管、探測器和電子線路的變化對分析結果的影響,自動消除系統漂移 |
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譜峰計數時,峰漂移自動校正功能 |
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譜峰死時間自動校正功能 |
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譜峰脈沖堆積自動剔除功能 |
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標準樣品和實測樣品間,密度校正功能 |
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譜峰重疊剝離和峰形擬合計算 |
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-測量自動化功能 (要求XY程控機構) |
鼠標激活測量模式:“Point and Shoot” |
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多點自動測量模式:隨機模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、和重復測量模式 |
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測量位置預覽功能 |
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激光對焦和自動對焦功能 |
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-樣品臺程控功能 (要求XY程控機構) |
設定測量點 |
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One or Two Datumn (reference) Points on each file |
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測量位置預覽(圖表顯示) |
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-統計計算功能 |
平均值、標準偏差、相對標準偏差、最大值、最小值、數據變動范圍、數據編號、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖 |
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數據分組、X-bar/R圖表 |
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直方圖 |
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數據庫存儲功能 |
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-系統安全監測功能 |
Z軸保護傳感器 |
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樣品室門開閉傳感器 |
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操作系統多級密碼操作系統:操作員、分析員、工程師 |
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-任選軟件 |
統計報告編輯器允許用戶自定義多媒體報告書 |
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液體樣品分析,如鍍液中的金屬元素含量 |
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材料鑒別和分類檢測 |
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材料和合金元素分析 |
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貴金屬檢測,如Au karat評價 |