三氯氫硅
分子量： 135.43熔點(101.325kPa)：-134℃；沸點(101.325kPa)：31.8℃；液體密度(0℃)：1350kg/m3；相對密度(氣體，空氣=1)： 4.7；蒸氣壓(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa

；燃點：-27.8℃；自燃點：104.4℃；閃點：-14℃；爆極限：6.9～70%；性級別：3；易燃性級別：4；易爆性級別：