◆ 外形尺寸(不包括報警燈)
1450(W)×1100(D)×1850(H)mm
◆ 倉體結構(不銹鋼，約400升)
600(W)×840(D)×800(H)mm
◆ 電極面積
530(W)×700(D)mm ，15層 ◆ 等離子發生器(美國MKS)
頻率13.56MHZ,功率0-5000W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作
◆ 控制系統
觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)
日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S) （前級泵可選配愛德華干泵）
英國愛德華羅茨泵 EH500(140L/S)
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康高精度真空計、傳感器
