詳細說明
◆ 設備外形尺寸(不包括報警燈) 650(W)×900(D)×1600(H)mm ◆ 不銹鋼或合金鋁真空倉體尺寸(約100升) 420(W)×420(D)×570(H)mm ◆ 倉體結構 9層鋁合金放電電極,陽極氧化處理 ◆ 等離子發生器(美國MKS) 頻率13.56MHZ,功率0-600W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作 ◆ 控制系統 PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式 ◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制) 日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S) 臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康壓力傳感器 ◆ 充氣系統 美國AE高精度電子質量流量計(兩路氣體配制)、針閥 美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥 日本SMC及CKD高真空氣閥組件
