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采用ACM 600 共焦顯微鏡可對物體的表面和結構進行非接觸式的測量,評估和顯示。裝配不同的顯微物鏡,測量視場大小和精度也不同。視場的擴展可通過釘合的方式來實現。
ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤,使采集的單個測量點相互平行。ACM 600目前是唯一商業化的采用微透鏡掃描盤的儀器。與尼普科夫掃描盤相比,微透鏡掃描盤使光學系統反應快速,所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測量結果。它的另外的獨特之處在于采用了LED作為光源,避免了使測量頭發熱,因而它的壽命幾乎可以視為無限長。儀器配備了物鏡切換盤,可以快速轉換物鏡。
檢測物件的設定和測量全過程可以通過一個獨立的監視器觀察。測量軟件基于Windows XP操作系統編制,并提供所有標準的評估程序。
儀器結構緊湊,耐用,特別適用于工業用途。在微透鏡掃描盤自動伸出后,儀器可作為普通的顯微物鏡使用。
主要用途:
◆ 粗糙和光滑表面的測量和顯示
◆ 亞微米范圍內的微觀形貌測量
◆ 金相測量
◆ 非接觸式表面輪廓的計量
主要特點
◆ 0,1mm2到0,7mm2視場
◆ 采用釘合方式擴大視場
◆ 配置物鏡切換盤
◆ 確定垂直分辨率來設定測量時間
◆ 橫向分辨率可達1祄,垂直分辨率最高可到5 nm
◆ 具有采用微透鏡掃描盤的快速光學系統
◆ 全自動數據評估
◆ 實驗室和在線兩用設計
主要優點:
◆ 高保真輪廓復現,對物體三維結構快速,非接觸式的定性和量化
◆ 測量結果與材料表面性能無關
◆ 根據用戶需求配置系統和軟件
◆ 無人干預全自動測量過程
◆ 將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
◆ 采用壓電驅動或步進電機進行垂直掃描
軟件:
◆ Windows XP 操作系統
◆ 測量和評估軟件包括下列功能: 水平調整,圖像縮放,輪廓線的提取,毛刺的剔除, 過濾, 數學計算,FFT,ACF,2D/3D 粗糙度參數,面積的測定, 斜度和波度的分布狀態及其它。
◆ 用戶特定要求的計算方法
技術數據:
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光源 |
LED |
壽命 h |
> 50,000 |
采用步進電機時的測量范圍mm |
50 |
采用壓電執行器件時的測量范圍µm |
100/150 |
最高垂直分辨率 nm |
5 |
最高橫向分辨率µm |
1 |
工作距離mm |
0.66 |
視場µm |
370 x 280 |
256個高度臺階的測量時間s |
約 30 |
重量kg |
約12 |
測量工作臺 |
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X、Y、Z每軸位移mm |
50 |
最小步距µm |
1 |