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本儀器由一測量頭和一轉向棱鏡組成,用于圓柱形工件的非接觸測量三維表面輪廓和微觀結構測量,適合在研究,開發(fā)和生產中使用。測量頭設計簡單精巧,可以提供最佳的長向和橫向分辨率。它相對免維護和方便自動測量的功能使其適合在生產過程使用。適于在很短時間間隔內高精度和定量測量表面粗糙度特征、氣孔、劃傷、涂層缺陷等,即可在孔內部,也可在小的圓柱工件外表面進行。有自動瞄準功能的測量頭安裝在一固定位置,而工件或偏光鏡移動至與光學軸共線。測量區(qū)的長度決定了工件或偏光鏡的驅動長度。這種運動是通過用一個單獨的提升臺實現(xiàn)的。所有部件包括測量頭,提升臺和數(shù)據(jù)采集都是由電腦控制的,可以自動進行重復測量。測量數(shù)據(jù)根據(jù)工件直徑修正后可以以笛卡兒和極坐標顯示,并以用戶選定的程序評估。
主要用途:
◆ 小的圓拄和襯套工件內外表面三維輪廓測量
◆ 涂層質量控制
◆ 探測識別孔的外表面
主要特點:
◆ 非接觸高精度測量
◆ 在生產現(xiàn)場和線上使用
◆ 相對免維護
◆ 適合產品研究開發(fā)的理想儀器
◆ 垂向(對被測物而言是徑向)分辨率可達1nm
◆ 橫向(對被測物而言是軸向)分辨率可達10µm
◆ 結構緊湊、耐用
主要優(yōu)點
◆ 快速,非接觸精密測量小孔和圓柱形工件的微觀結構,粗糙度,加工標記,缺陷,劃傷和圓柱形工件的外表面三維特征數(shù)據(jù)
◆ 笛卡兒坐標或者極坐標
◆ 測量和評估物體特定表面特征,包括涂層和磨損
技術數(shù)據(jù):
測量孔直徑mm |
5-50 |
垂向驅動長度 |
沿工件軸線 可按用戶要求 |
定制測量范圍祄 |
約50 |
分辨率祄 |
最大1 |
Y向分辨率祄 |
約1 |
尺寸mm |
約 320 x 320 x 380 |
重量 kg |
約5 |
測量時間s |
1-20 |