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數控等離子處理系統的應用領域
LCD, LTPS, OLED等各種基板玻璃表面清洗和連接前工藝的設備,不需要真空排氣。采用均勻大氣壓等離子,以大氣壓等離子的問題點Stremer或者Arc的產生為準則阻斷,基板上無損壞的表面清洗工藝。另外多元電極和原有大氣壓等離子技術相比,擴張性比較容易,所以從第一代較小的基板開始到第十代3000mm擴大的大型基板都可以使用。
觸摸屏的主要工藝的清洗,提高OCA/OCR,壓層,ACF,AR/AF涂層等工藝上的粘合力/涂層力,為去除氣泡/異物,通過多種大氣壓等離子形態的運用,可以將各種玻璃,薄膜均勻的大氣壓等離子放電使表面無損壞進行處理。
半導體成型工藝,刻模工藝&焊接工藝,焊球連接&安裝工藝的廣泛使用可以提高芯片和環氧間的粘結力,和引線框架的安裝和粘接力,板材和焊球之間的粘結力。防止半導體特性上的電氣損壞或者容易發生的靜電問題 ,可以采用多元系統技術。另外,因為可以根據硅片的大小制造大氣壓等離子,無論多小的等離子都可以適用。