物化性質(zhì):
熔點 -183.6℃,
沸點 -128.1℃,
液體密度(-130℃)1.613g/cm3,
臨界溫度 -45.67℃,
臨界壓力 3.73MPa,
臨界密度 7.1dm3/mol,
在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、易壓縮性氣體,具有很高的穩(wěn)定性,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水。屬于完全不燃性氣體。
應(yīng)用及市場:
四氟化碳高純氣及其高純氣配高純氧氣的混合體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻;在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、航天技術(shù)、金屬冶煉、氣相絕緣、低溫制冷等諸多方面也大量使用。
另外,近期研究發(fā)現(xiàn),四氟化碳的溶氧性很好,可用于超深度潛水代替壓縮空氣,目前該試驗已獲得成功。