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詳細信息 AWM2000 系列小流量 / 無放大氣體流量傳感器 特點: ● 雙向氣流傳感 ● 實際氣體質量流量傳感 ● 流速0~30sccm 到0~1000sccm ● 需另加發熱器控制及傳感橋路供電電路 AWM2100V技術規格:10.0 ± 0.01VDC ● 流量范圍(刻度):±200sccm ● 輸出電壓:30mV ● @標定點:@100sccm ● 零點漂移,type:+25 ~ -2508C +25 ~ +8508C ±0.2mV ● 輸出電壓漂移:+25~-2508C +2.5% 讀數; +25 ~ +8508C -2.5% 讀數 ● 重復性&遲滯 Max:±0.35% 讀數 ● 電源(VDC)(1):Min8.0 10± Typ0.01 Max15 ● 功耗(mW):30 50 ● 零點電壓(mV):-1.0 ● 反應時間(ms):1.0 ● 傳感器電阻(KΩ)(1-2 腳, 1-6 腳):5 ● 工作溫度:-25-8508C ● 儲存溫度:-40-9008C ● 沖擊(5drops,6axis):100g 峰值 |